公开/公告号KR20090101379A
专利类型
公开/公告日2009-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 BROOKS AUTOMATION INC.;
申请/专利号KR20097016896
发明设计人 BARTLETT ALLEN J.;DRISCOLL MICHAEL A.;EACOBACCI MICHAEL J. JR.;JOHNSON WILLIAM L.;SULLIVAN ROBERT P.;SYSSOEV SERGEI;STIRA MARK A.;CASELLO JOHN J.;
申请日2008-01-15
分类号F04B37/08;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 19:12:31