公开/公告号KR100901476B1
专利类型
公开/公告日2009-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号KR20070044531
发明设计人 콕스 헨리쿠스 헤어만 마리에;루프스트라 에릭 로엘로프;반 데르 슈트 하르멘 클라스;반 데르 파쉬 엥겔베르투스 안토니우스 프란시스쿠스;루틱후이스 베르나르두스 안토니우스 요한네스;
申请日2007-05-08
分类号G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 19:11:53