机译:用于微电子学的工作波长的衍射光学元件,包括在子区域中的二进制结构,并且二进制结构包括在前子区域的两个位置处的条带密度小于一定量的不同条带密度
公开/公告号DE102007042672A1
专利类型
公开/公告日2009-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT AG;
申请/专利号DE20071042672
申请日2007-09-10
分类号G02B27/42;G02B5/18;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:09:36