公开/公告号DE50212839D1
专利类型
公开/公告日2008-11-13
原文格式PDF
申请/专利号DE20025012839T
申请日2002-04-04
分类号H01L21/477;H01L21/66;C23C14/06;C23C16/52;C23C16/56;C30B25/10;G01R31/26;H01L21;H01L21/06;H01L21/16;H01L21/302;H01L21/461;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/18;H01L45;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:08:36