公开/公告号DE60136891D1
专利类型
公开/公告日2009-01-22
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号DE20016036891T
申请日2001-08-10
分类号C23C16/04;H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/517;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:08:25