要解决的问题:提供一种配备有电阻式成像测辐射热仪140的红外辐射检测设备。
解决方案:该设备配备有测量装置16、38; 16、24、38; 16、140;参照图16、24,用于测量辐射热计140的电阻相对于辐射热计140的电阻的参考值的漂移;校正装置34用于校正漂移的影响,或者校正装置用于校正电阻的漂移。辐射热计140的电阻的参考值对应于辐射热计140的规定的操作条件。
版权:(C)2010,JPO&INPIT
公开/公告号JP2010071987A
专利类型
公开/公告日2010-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ULIS;
申请/专利号JP20090198280
申请日2009-08-28
分类号G01J1/02;G01J1/46;G01J5/20;G01J5/10;G01J5/48;H01L37;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:02:51