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Micro-lens arrays and curved surface fabrication techniques

机译:微透镜阵列和曲面制造技术

摘要

A method of fabricating a sub-millimeter scale curved surface on a substrate (10) includes cutting a plurality of trenches (12) of varying depth into the substrate (10). The depth of the trenches (12) corresponds to a desired surface profile. The substrate (10) is etched to remove material left (16) between the trenches to form the curved surface.
机译:一种在基板( 10 )上制造亚毫米级曲面的方法,该方法包括将多个深度不同的沟槽( 12 )切入基板( 10 )。沟槽的深度( 12 )对应于所需的表面轮廓。蚀刻衬底( 10 )以去除沟槽之间残留的材料( 16 ),以形成曲面。

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