METHOD FOR OBTAINING NANO-POROUS LAYER OF INDIUM PHOSPHIDE THROUGH ELECTRO-CHEMICAL ETCHING IN SOLUTION OF HYDROFLUORIC ACID

摘要

Спосіб отримання нанопоруватого шару на поверхні монокристалічного фосфіду індію включає обробку поверхні монокристалічного ІnР шляхом електрохімічного травлення.[Полезная модель принадлежит к способам изготовления квантово-размерных структур на поверхности монокристаллического фосфида индия, а именно к способам электрохимического травления в результате чего на поверхности формируются квантово-размерные структуры по типу квантовых проволок.Получение нанопористого слоя на поверхности монокристаллического фосфида индия n-типа легированного S до концентрации носителей 11=2,3x10смс ориентацией (111) проводилось в несколько этапов:1. Шлифование образцов и обработка поверхности алмазным порошком. После этого на поверхности присутствовали неровности высотой 2-10 нм.2. Полирующее электрохимическое травление для получения зеркально гладкой поверхности.3. Удаление с поверхности полярных и неполярных загрязнений при помощи толуола и этилового спирта.4. Электрохимическое травление образцов в растворе НР:СНОН:НО (1:2:1) для получения нанопористого слоя фосфида индия.5. Промывание поверхности в этиловом спирте и высушивание в потоке азота.Пористые слои фосфида индия могут найти применение при создании новых уникальных материалов для изготовления новых уникальных материалов для изготовления транзисторов и других СВЧ устройств. Также возможно использование в качестве подложек для выращивания различных гетероструктур, на основе которых изготовляются эффективные источники излучения.