公开/公告号DE602006015723D1
专利类型
公开/公告日2010-09-02
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申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号DE20066015723T
发明设计人 BANINE VADIM YEVGENYEVICH;MOORS JOHANNES HUBERTUS;SJMAENOK LEONID AIZIKOVITCH;SALASHCHENKO NIKOLAY NIKOLAEVITCH;
申请日2006-03-22
分类号G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 18:27:20