要解决的问题:提供一种在保持光学条件(例如照明形状,投影光学元件数值孔径(NA))不变的情况下优化设计规则以生产掩模的方法。
解决方案:通过将掩模图案的衍射阶次函数与TCC矩阵的奇异值分解(SVD)的本征函数相乘,可以创建互相关函数。对于原始设计规则,使用无扰动条件计算衍射阶数函数。使用互相关结果并使用傅立叶变换的平移特性在临界多边形的计算图像的边缘处计算ILS。使用掩模和光学系统的计算出的互相关性以及用于扰动设计的傅里叶变换的平移特性,可以减少确定设计规则中所需更改所需的计算时间。一旦计算出最佳间隔,就将其合并到设计规则中,以优化掩模布局,从而改善整个掩模(包括掩模的关键和非关键部分)的ILS。
版权:(C)2011,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2011186457A
专利类型
公开/公告日2011-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS BV;
申请/专利号JP20110039343
发明设计人 ROBERT JOHN SOCHA;
申请日2011-02-25
分类号G03F1/08;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:24:30