机译:在多条带状分割段中进行操作的半导体基体转移/处理隧道建立,在移动的基体级连续,连续的情况下,连续地,不间断地进行了多次干预液体载体和半导体物质颗粒的结合。
公开/公告号NL1037068C2
专利类型
公开/公告日2010-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 BOK EDWARD;
申请/专利号NL20091037068
发明设计人 BOK EDWARD;
申请日2009-06-23
分类号H01L21/677;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 18:05:14