机译:半导体基材转移/处理-向上隧道,或至少顶部和/或隧道下方的同伴,其横向延伸的带状装置记录下来,以辅助其无中断的连续向上和向下移动异型的打印部分。
公开/公告号NL1037069C
专利类型
公开/公告日2010-12-27
原文格式PDF
申请/专利权人 BOK EDWARD;
申请/专利号NL20091037069
发明设计人 BOK EDWARD;
申请日2009-06-23
分类号H01L21/00;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 18:05:14