首页> 外国专利> METHODS AND APPARATUS FOR CALCULATING ELECTROMAGNETIC SCATTERING PROPERTIES OF A STRUCTURE USING A NORMAL-VECTOR FIELD AND FOR RECONSTRUCTION OF APPROXIMATE STRUCTURES.

METHODS AND APPARATUS FOR CALCULATING ELECTROMAGNETIC SCATTERING PROPERTIES OF A STRUCTURE USING A NORMAL-VECTOR FIELD AND FOR RECONSTRUCTION OF APPROXIMATE STRUCTURES.

机译:用正矢量场计算结构的电磁散射特性并重建近似结构的方法和装置。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号NL2005521A

    专利类型

  • 公开/公告日2011-04-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;

    申请/专利号NL20102005521

  • 发明设计人 DIRKS REMCO;BEURDEN MARTIJN;SETIJA IRWAN;

    申请日2010-10-14

  • 分类号G01N21/47;G03F7/20;

  • 国家 NL

  • 入库时间 2022-08-21 18:05:11

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号