METHOD FOR INVESTIGATION OF COMPOSITIONAL HETEROGENEITY OF STRUCTURE OF CRYSTALS OF INDIUM PHOSPHIDE

摘要

Винахід належить до способів дослідження композиційної неоднорідності монокристалічного фосфіду індію - смуг сегрегації домішки, що виникають під час росту кристала, а саме способів селективного травлення кристалів, завдяки якому можливо спостерігати даний тип дефектів кристалічної структури ІnР.[Полезная модель принадлежит к способам исследования композиционной неоднородности монокристаллического фосфида индия -полос сегрегации примеси, которые возникают во время роста кристалла, а именно способам селективного травления кристаллов, благодаря которому возможно наблюдать данный тип дефектов кристаллической структуры InP.Исследование «полосчатости» кристаллов фосфида индия n-типа легированного S до концентрации носителей n=2,3х10смс ориентацией (111) проводилось несколько этапов:1. Шлифование образцов и обработка поверхности алмазным порошком. После этого на поверхности присутствовали неровности высотой 2-10 нм.2. Полирующее электрохимическое травление для получения зеркально гладкой поверхности.3. Удаление с поверхности полярных и неполярных загрязнений при помощи толуола и этилового спирта.4. Селективное электрохимическое травление образцов в растворе НF:СНOН:НO (1:2:1) для исследования полосчатой неоднородности распределения компонентов в кристалле фосфида индия.5. Промывание поверхности в этиловом спирте и высушивание в потоке азота.Исследование композиционной неоднородности кристалла фосфида индия представляет значительный научный и практический интерес, так как данные дефекты могут существенно влиять на свойства как монокристаллического InP, так и на пористые структуры, полученные на объемных по