method for forming a pattern on a substrate by means of ionian organic fotosu00e4uregeneratoren for duv, muv and optical lithography on the basis of peraceptor - replaced: aromatic anions

机译： 基于置换型芳香族阴离子的DUV，MUV和光学照相术中使用离子，有机光酸发生剂在基质上形成图案材料的方法

机译： 基于吸附剂取代的芳香族阴离子的DUV，MUV和光学照相术的离子，有机光酸发生剂

机译： 基于受感受器取代的芳族阴离子的DUV，MUV和光刻的离子有机光酸产生剂