公开/公告号CA2477610C
专利类型
公开/公告日2010-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY;
申请/专利号CA20032477610
发明设计人 OGURA MUTSUO;
申请日2003-02-24
分类号H01S5/343;H01L29/06;H01S5/12;H01S5/34;H01S5/026;
国家 CA
入库时间 2022-08-21 18:02:24