公开/公告号WO2010091352A3
专利类型
公开/公告日2011-04-14
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;LOPATIN SERGEY;BACHRACH ROBERT Z.;BREVNOV DMITRI A.;LAZIK CHRISTOPHER S.;JIN MIAO;URITSKY YURI;
申请/专利号WO2010US23484
发明设计人 LOPATIN SERGEY;BACHRACH ROBERT Z.;BREVNOV DMITRI A.;LAZIK CHRISTOPHER S.;JIN MIAO;URITSKY YURI;
申请日2010-02-08
分类号C23C16/26;C01B31/02;H01G9/042;H01M4/96;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 18:00:48