公开/公告号WO2011027585A1
专利类型
公开/公告日2011-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 NAMIKI SEIMITSU HOUSEKI KABUSHIKI KAISHA;NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION YOKOHAMA NATIONAL UNIVERSITY;OGINO TOSHIO;TSUKAMOTO TAKAHIRO;KOYAMA KOUJI;SUNAGAWA KAZUHIKO;
申请/专利号WO2010JP55017
申请日2010-03-24
分类号C01B31/02;B82B1;C30B29/20;H01L29/06;H01L29/16;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:58:57