公开/公告号EP1855313A4
专利类型
公开/公告日2011-09-28
原文格式PDF
申请/专利号EP20060713744
发明设计人 FUJII NOBUTOSHI;KOHMURA KAZUO;MIYOSHI HIDENORI;TANAKA HIROFUMI;OIKE SHUNSUKE;MURAKAMI MASAMI;KUBOTA TAKESHI;KURANO YOSHITO;
申请日2006-02-15
分类号H01L21/316;C01B33/12;H01L21/768;H01L23/522;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:58:48