公开/公告号WO2011050204A2
专利类型
公开/公告日2011-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;LOPATIN SERGEY D.;BREVNOV DMITRI A.;WANG CONNIE P.;BACHRACH ROBERT Z.;
申请/专利号WO2010US53613
申请日2010-10-21
分类号H01M4/04;H01M10/0525;H01M4/38;B82B3;C23C2;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:58:02