机译:层状构成的,包含Al基的III族氮化物单晶层的层积,由该过程产生的层状层,使用层状的Al-族III族氮化物单晶基体的产生层和铝氮化物单晶态的过程
公开/公告号KR20100138879A
专利类型
公开/公告日2010-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY;TOKUYAMA CORPORATION;
申请/专利号KR20107017711
发明设计人 TAKADA KAZUYA;HAKOMORI AKIRA;KOUKITU AKINORI;NAGASHIMA TORU;KUMAGAI YOSHINAO;ISHIZUKI MASANARI;
申请日2008-12-16
分类号C30B29/38;C30B25/18;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:52:59