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机译:航天器碎片撞击减轻装置
公开/公告号GB2475926B
专利类型
公开/公告日2011-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 PHS SPACE LIMITED;
申请/专利号GB20090021427
发明设计人 HEDLEY STOKES;
申请日2009-12-07
分类号B64G1/56;B64G1/62;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 17:45:06
机译: 具有碎屑减轻系统的光刻设备,用于产生具有碎屑减轻系统的EUV辐射的源以及用于减轻碎屑的方法
机译: 具有碎屑减轻系统的光刻设备,产生EUV辐射的具有碎屑减轻系统的源以及用于减轻碎屑的方法