提供一种用于通过激光散斑测量纳米位移并具有高测量精度并且能够通过使用简单的光学系统和简单的设备来促进处理的方法和设备。解决方案:用于通过激光散斑测量纳米位移的设备包括:半导体激光器12;以及半导体激光器12。用于使来自半导体激光器12的光会聚成单个SPOT的透镜14;分束器16,用于分支来自半导体激光器12的发射器光束。从分束器16分支出的一束激光照射到基准粗糙面18上。从半导体激光器12分支的另一束激光束照射到测量粗糙表面20上。用于通过激光散斑测量纳米位移的设备均设有光学传感器22,用于接收通过分束器叠加产生的光。根据输出电压的变化,在参考粗糙表面18和测量粗糙表面20上的激光束16和分别反射在参考粗糙表面18和测量粗糙表面20上的斑点以及它们的斑点干涉和计算机26用于确定测量粗糙表面20的位移。光学传感器22在作为测量范围的电压范围内,并且由于斑点干涉光的入射,输出值在光学传感器22的输出的最大值和最小值之间基本上线性地变化。
版权:(C)2008和JPO&INPIT
公开/公告号JP4843789B2
专利类型
公开/公告日2011-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 国立大学法人富山大学;
申请/专利号JP20060219881
发明设计人 田代 発造;
申请日2006-08-11
分类号G01B11/00;G01B9/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:35:54