要解决的问题:提供一种制造对象的热处理装置,一种热处理方法以及一种用于制造压电装置的方法,即使将制造对象布置在腔室内,也可以防止制造期间的变化。高度方向,可以缩短制造时间。
解决方案:该热处理设备包括:腔室40,其可容纳沿高度方向布置的多个制造对象;气体供应装置76,其在腔室40中填充气体;辐射型加热装置60,其用于加热腔室40。通过辐射热制造物体,在辐射型加热装置60工作时,搅动装置70搅动腔室40中的气体,而真空产生装置74通过排放气体使腔室40真空化。
版权:(C)2008,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP4893939B2
专利类型
公开/公告日2012-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人 セイコーエプソン株式会社;
申请/专利号JP20060305594
申请日2006-11-10
分类号H01L21/52;H01L23/02;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:35:37