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Resistor and design structure having substantially parallel resistor material lengths

机译:具有基本平行的电阻器材料长度的电阻器和设计结构

摘要

A resistor and design structure including a pair of substantially parallel resistor material lengths separated by a first dielectric are disclosed. The resistor material lengths have a sub-lithographic dimension and may be spacer shaped.
机译:公开了一种电阻器和设计结构,其包括被第一电介质隔开的一对基本平行的电阻器材料长度。电阻器材料长度具有亚光刻尺寸,并且可以是间隔物形状的。

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