机译:半导体隧道的建立,其中连续成功地处理穿过半导体基底部分的位置,并且在其中条形的介质需求至少在整个块状中都保持不变颗粒以气态或易挥发的液体形式结合携带的介质。
公开/公告号NL1037473C2
专利类型
公开/公告日2011-11-24
原文格式PDF
申请/专利权人 BOK EDWARD;
申请/专利号NL20091037473
发明设计人 BOK EDWARD;
申请日2009-11-17
分类号H01L21/677;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 17:23:37