公开/公告号WO2011155683A1
专利类型
公开/公告日2011-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION YONSEI UNIVERSITY;KIM KYOUNG SIK;PARK HAE SUNG;LEE KWANG CHIL;
申请/专利号WO2011KR00477
申请日2011-01-24
分类号G03F7/20;H01L21/027;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:18:40