公开/公告号WO2012070549A1
专利类型
公开/公告日2012-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION;MIYAMOTO ATSUSHI;HOSOYA NAOKI;KAWAHARA TOSHIKAZU;ONIZAWA AKIHIRO;
申请/专利号WO2011JP76844
申请日2011-11-22
分类号H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:15:46