公开/公告号WO2012121526A2
专利类型
公开/公告日2012-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;KIM HEE YEOUN;KIM KYOUNG MIN;KIM BYEONG IL;KYUNG KI MYEONG;PARK JAE HONG;LEE KWY RO;KIM GYUNG TAE;
申请/专利号WO2012KR01612
发明设计人 KIM HEE YEOUN;KIM KYOUNG MIN;KIM BYEONG IL;KYUNG KI MYEONG;PARK JAE HONG;LEE KWY RO;KIM GYUNG TAE;
申请日2012-03-05
分类号G01J5/02;G01J5/20;H01L31/101;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:13:48