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Fabrication of graphene electronic devices using step surface contour

机译:使用台阶表面轮廓制造石墨烯电子器件

摘要

A method for fabricating an electronic component (100), comprising:- providing a substrate (1);and- depositing a graphene layer (5); wherein- the substrate (1) is either provided with a van-der-Waals functional layer (2) or a van-der-Waals functional layer (2) is deposited on the substrate before depositing the graphene layer;- a surface step contour (3) is formed; and- growth of the graphene layer (5) is seeded at the step contour (3).
机译:一种电子元件的制造方法(100),包括:-提供基材(1);和-沉积石墨烯层(5);其中-在衬底(1)上设置范德华功能层(2),或者在沉积石墨烯层之前在衬底上沉积范德华功能层(2);-形成表面台阶轮廓(3);和-在台阶轮廓(3)处籽晶石墨烯层(5)的生长。

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