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METHOD OF CONTROLLING THE MATERIAL PROPERTIES OF ZINC-OXIDE NANOWIRE AND METHOD OF MANUFACTURING TRANSISTOR

机译:氧化锌纳米线的材料控制方法及晶体管的制造方法

摘要

PURPOSE: A method for controlling zinc-oxide nanowire physical properties is provided to control electric and optical property. CONSTITUTION: A method for controlling zinc-oxide nanowire physical properties comprises: a step of preparing zinc-oxide nanowire(5) inside a vacuum chamber; a step of irradiating laser to the zinc oxide nanowire; a step of melting the zinc-oxide nanowire; and a step of cooling zinc-oxide nanowire. The lase is selected from 'ArF, KrF, XeCl, XeF, KrCl, F_2, Kr_2, Xe_2, XeBr, CaF_2, Cl_2 and N_2. The laser is irradiated in pluse form. The pulse duration is 2 femto seconds to 500 nano seconds.
机译:目的:提供一种控制氧化锌纳米线物理性能的方法,以控制电学和光学性能。构成:一种控制氧化锌纳米线物理性能的方法,包括:在真空室内制备氧化锌纳米线(5)的步骤;向氧化锌纳米线照射激光的步骤;熔融氧化锌纳米线的步骤;以及冷却氧化锌纳米线的步骤。激光选自ArF,KrF,XeCl,XeF,KrCl,F_2,Kr_2,Xe_2,XeBr,CaF_2,Cl_2和N_2。激光以脉冲形式照射。脉冲持续时间为2飞秒至500纳秒。

著录项

  • 公开/公告号KR101084763B1

    专利类型

  • 公开/公告日2011-11-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20090030833

  • 发明设计人 맹종선;김성현;황현상;이탁희;

    申请日2009-04-09

  • 分类号B82B3;H01L29/78;B82Y40;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 17:11:10

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