公开/公告号JP2013042149A
专利类型
公开/公告日2013-02-28
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号JP20120205020
发明设计人 KAWAGUCHI SEIJI;CHEN WAN-LIN;TAKESHITA KENJI;LUPAN MICHELLE;MAGNI ENRICO;ASO TSUYOSHI;MICHAEL KELLY;HEFTY ROBERT;MCCLARD THOMAS;
申请日2012-09-18
分类号H01L21/3065;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:58:30