解决方案:公开了一种金刚石颗粒到衬底P1上的晶种处理方法,其中仅对衬底的特定部分进行晶种,其中仅对已经经历了氧末端的衬底的表面进行晶种进行氢末端处理的基材表面不进行晶种和使用纳米金刚石细颗粒。还公开了通过使所获得的金刚石播种衬底的表面经受金刚石晶体生长而获得的金刚石精细结构及其制造方法。
版权:(C)2009和JPO&INPIT
公开/公告号JP5334085B2
专利类型
公开/公告日2013-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 独立行政法人産業技術総合研究所;
申请/专利号JP20070299293
发明设计人 ネーベル クリストフ;上塚 洋;
申请日2007-11-19
分类号C23C16/02;C23C16/04;C23C16/27;C23C16/511;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:55:33