公开/公告号KR20130057482A
专利类型
公开/公告日2013-05-31
原文格式PDF
申请/专利号KR20137009494
发明设计人 KIM HEE YEOUN;KYUNG KI MYEONG;PARK JAE HONG;KIM GYUNG TAE;LEE KWY RO;KIM BYEONG IL;KIM KYOUNG MIN;
申请日2012-03-05
分类号G01J5/02;G01J5/20;H01L31/101;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 16:26:59