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ALIGNMENT MASTER GLASS FOR TENSIONING VAPOR DEPOSITION MASK, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR TENSIONING VAPOR DEPOSITION MASK USING THE SAME

机译:用于张紧蒸气沉积面罩的校准主玻璃,其制造方法以及使用相同的张紧蒸气沉积面罩的方法

摘要

An alignment master glass for aligning a plurality of openings of a vapor deposition mask for tensioning the vapor deposition mask, the alignment master glass includes a transparent substrate, and reflective film patterns on at least one surface of the transparent substrate, the reflective film patterns being only at locations corresponding to the plurality of openings of the vapor deposition mask.
机译:一种用于对准用于张紧气相沉积掩模的气相沉积掩模的多个开口的对准原版玻璃,该对准原版玻璃包括透明基板以及在该透明基板的至少一个表面上的反射膜图案,该反射膜图案为仅在与气相沉积掩模的多个开口相对应的位置处。

著录项

  • 公开/公告号KR101231207B1

    专利类型

  • 公开/公告日2013-02-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20110001077

  • 发明设计人 이상신;

    申请日2011-01-05

  • 分类号C23C14/04;H01L51/56;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 16:25:44

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