公开/公告号RU2012100034A
专利类型
公开/公告日2013-07-20
原文格式PDF
申请/专利号RU20120100034
发明设计人 ЛЕВИН ГЕННАДИЙ ГЕНРИХОВИЧ (RU);ДЁМИН АНДРЕЙ ВАСИЛЬЕВИЧ (RU);ЗАБОТНОВ СТАНИСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ (RU);ФЕДЯНИН АНДРЕЙ АНАТОЛЬЕВИЧ (RU);ЗОЛОТАРЕВСКИЙ ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ (RU);ИВАНОВ ВЯЧЕСЛАВ СЕМЕНОВИЧ (RU);
申请日2012-01-10
分类号H01L21/66;G01N21/55;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 16:23:39