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Shape measuring apparatus, shape measuring method, and program production method of the structure

机译:结构的形状测量装置,形状测量方法和程序制作方法

摘要

I simplify setting process of the measurement area to the [challenge] the test product (teaching process). A detection unit 20 for detecting the surface shape of the test object having a three-dimensional shape, based on the shape measurement data detected in the designated predetermined area A1 A shape measuring apparatus, the specified I include a, and area setting unit 58 for setting as a measurement region, a region adjacent to the area. [Selection Figure Figure 2
机译:简化了对测试产品的挑战的测量区域的设置过程(教学过程)。检测单元20基于在指定的预定区域A1A的形状测量装置中检测出的形状测量数据,检测具有三维形状的被检体的表面形状,指定的I包括a,以及区域设定单元58,用于将与该区域相邻的区域设置为测量区域。 [选择图图2

著录项

  • 公开/公告号JPWO2012057283A1

    专利类型

  • 公开/公告日2014-05-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社ニコン;

    申请/专利号JP20120540941

  • 发明设计人 神藤 建太;

    申请日2011-10-27

  • 分类号G01B21/20;G01B11/24;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:11:38

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