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机译:低微管100毫米碳化硅晶片
公开/公告号US2014291698A1
专利类型
公开/公告日2014-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 CREE INC.;
申请/专利号US201314087215
发明设计人 ROBERT TYLER LEONARD;ADRIAN POWELL;MARK BRADY;
申请日2013-11-22
分类号H01L29/16;H01L29/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 16:08:17
机译: 低微管100毫米碳化硅晶片
机译: 低微管密度的100毫米碳化硅晶片的生产方法