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METHODS OF IMPROVING LONG RANGE ORDER IN SELF-ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMER FILMS WITH IONIC LIQUIDS AND MATERIALS PRODUCED THEREFROM

机译:离子液体及其制备的材料提高嵌段共聚物膜自组装长程的方法

摘要

Methods for fabricating arrays of nanoscaled alternating lamellae or cylinders in a polymer matrix having improved long range order utilizing self-assembling block copolymers, and films and devices formed from these methods are provided.
机译:本发明提供了利用自组装嵌段共聚物在具有改善的长程有序性的聚合物基质中制造纳米级交替薄片或圆柱体阵列的方法,以及由这些方法形成的膜和装置。

著录项

  • 公开/公告号US2014127456A1

    专利类型

  • 公开/公告日2014-05-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;

    申请/专利号US201414153743

  • 发明设计人 JENNIFER KAHL REGNER;

    申请日2014-01-13

  • 分类号B81C1/00;B05D5/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 16:04:03

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