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ELECTROCHEMICALLY ACTIVATED C-MEMS ELECTRODES FOR ON-CHIP MICRO-SUPERCAPACITORS

机译：用于片上微电容器的电化学活化C-MEMS电极

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Disclosed herein are methods of manufacturing micro-super capacitors from C-MEMS structures.

机译：本文公开了由C-MEMS结构制造微超级电容器的方法。

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公开/公告号US2014029161A1

专利类型
公开/公告日2014-01-30

原文格式PDF
申请/专利权人 MAJID BEIDAGHI;CHUNLEI WANG;WEI CHEN;
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申请/专利号US201213441268
发明设计人 CHUNLEI WANG;MAJID BEIDAGHI;WEI CHEN;
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申请日2012-04-06
分类号H01G11/24;H01G11/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 16:03:25

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