公开/公告号US8704171B2
专利类型
公开/公告日2014-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS INSTRUMENTS INC.;
申请/专利号US201213682379
发明设计人 TIMOTHY ROGER ROBINSON;MARK ATTWOOD;WILLIAM M. HOLBER;XING CHEN;JONATHAN HENRY PALK;MARK PHILIP LONGSON;ALI SHAJII;JOHN A. SMITH;
申请日2012-11-20
分类号G01N27/62;
国家 US
入库时间 2022-08-21 16:01:45