公开/公告号US8617351B2
专利类型
公开/公告日2013-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 DANIEL J. HOFFMAN;ROGER A. LINDLEY;MICHAEL C. KUTNEY;MARTIN J. SALINAS;HAMID F. TAVASSOLI;KEIJI HORIOKA;DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;
申请/专利号US20050046656
发明设计人 DANIEL J. HOFFMAN;ROGER A. LINDLEY;MICHAEL C. KUTNEY;MARTIN J. SALINAS;HAMID F. TAVASSOLI;KEIJI HORIOKA;DOUGLAS A. BUCHBERGER JR.;
申请日2005-01-28
分类号C23F1;H01L21/306;C03C15;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:59:32