公开/公告号KR20140128951A
专利类型
公开/公告日2014-11-06
原文格式PDF
申请/专利权人 HOYA CORPORATION;
申请/专利号KR20147018169
发明设计人 ORIHARA TOSHIHIKO;HAMAMOTO KAZUHIRO;KOZAKAI HIROFUMI;USUI YOUICHI;SHOKI TSUTOMU;HORIKAWA JUNICHI;
申请日2013-03-28
分类号H01L21/027;G03F1/66;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:41:49