公开/公告号KR101372401B1
专利类型
公开/公告日2014-03-07
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号KR20120040902
发明设计人 돈더스 쇼에르트 니콜라스 람베르투스;바니네 바딤 예프겐예비치;무어스 요한네스 후베르투스 요제피나;베르하겐 마르티누스 코르넬리스 마리아;프린스 올라프 발데마르 블라디미르;반 동크 게리트;반 게르너 헨크 얀;
申请日2012-04-19
分类号H01L21/027;G03F7/20;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 15:41:19