公开/公告号DE102013201663A1
专利类型
公开/公告日2014-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 SILTRONIC AG;
申请/专利号DE201310201663
发明设计人 RÖTTGER KLAUS;HEILMAIER ALEXANDER;MISTUR LESZEK;TABATA MAKOTO;DUTSCHKE VLADIMIR;OLBRICH TORSTEN;
申请日2013-02-01
分类号H01L21/304;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 15:37:18