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机译:定向自组装的方法和由其形成的分层结构
公开/公告号GB2485941B
专利类型
公开/公告日2014-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;
申请/专利号GB20120003971
发明设计人 JOY CHENG;DANIEL PAUL SANDERS;WILLIAM HINSBERG;HO-CHEOL KIM;MATTHEW COLBURN;STEFAN HARRER;STEVEN HOLMES;
申请日2010-11-26
分类号G03F7/00;
国家 GB
入库时间 2022-08-21 15:35:57
机译: 用193 nm浸没光刻技术进行定向自组装的方法及其形成的分层结构
机译: 定向自组装的方法以及由此形成的分层结构
机译: 定向自组装的方法和由其形成的分层结构