公开/公告号JP5658356B2
专利类型
公开/公告日2015-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド;
申请/专利号JP20130508022
发明设计人 フィリップ・ジェーソン・ステファノー;センク・アカー;ラヴィンドラ・ヴァマン・シェノイ;デイヴィッド・ウィリアム・バーンズ;ジャスティン・フェルプス・ブラック;カート・エドワード・ピーターセン;スリニヴァサン・コダガナルー・ガナパチ;
申请日2011-04-18
分类号G01P15/125;G01C19/5712;G01C19/5747;G01P15/18;H01L41/08;H01L29/84;B81B3;B81C1;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:28:23