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APPARATUS AND METHOD FOR BULK VAPOUR PHASE CRYSTAL GROWTH

机译:大体积气相结晶生长的装置和方法

摘要

A vapour conduit for use in an apparatus for bulk vapour phase crystal growth, an apparatus for bulk vapour phase crystal growth, and a process for bulk vapour phase crystal growth are described. The vapour conduit is a flow conduit defining a passage means adapted for transport of vapour from a source volume to a growth volume, wherein a flow restrictor is provided in the passage means between the source volume and the growth volume and wherein the flow conduit further comprises a flow director structured to direct vapour flow downstream of the flow restrictor away from a longitudinal centre line of the conduit and for example towards an edge of the conduit.
机译:描述了用于本体气相晶体生长的设备中的气相导管,本体气相晶体生长的设备和本体气相晶体生长的方法。蒸气导管是流动导管,其限定了适于将蒸气从源体积传输到生长体积的通道装置,其中限流器设置在源体积和生长体积之间的通道装置中,并且其中,流动导管还包括导流器,其构造成将蒸汽在所述限流器的下游引导离开所述导管的纵向中心线并且例如朝向所述导管的边缘。

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