公开/公告号US2015115418A1
专利类型
公开/公告日2015-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201314064840
发明设计人 XIANG HU;DAE-HAN CHOI;MARIAPPAN HARIHARAPUTHIRAN;AKSHEY SEHGAL;DAE GEUN YANG;RICHARD J. CARTER;ANDY WEI;
申请日2013-10-28
分类号H01L21/033;G03F1/50;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:23:30