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ARTICLES INCLUDING METAL STRUCTURES HAVING MAXIMIZED BOND ADHESION AND BOND RELIABILITY, AND METHODS OF FORMING THE SAME

机译:具有最大粘结强度和粘结可靠性的金属结构制品及其形成方法

摘要

Methods of effecting bond adhesion between metal structures, methods of preparing articles including bonded metal structures, and articles including bonded metal structures are provided herein. In an embodiment, a method of effecting bond adhesion between metal structures includes forming a first metal structure on a substrate. The first metal structure includes grains that have a {111} crystallographic orientation, and the first metal structure has an exposed contact surface. Formation of an uneven surface topology is induced in the exposed contact surface of the first metal structure after forming the first metal structure. A second metal structure is bonded to the exposed contact surface of the first metal structure after inducing formation of the uneven surface topology in the exposed contact surface.
机译:本文提供了实现金属结构之间的粘合粘附的方法,制备包括结合的金属结构的制品的方法以及包括结合的金属结构的制品的方法。在一个实施例中,一种实现金属结构之间的粘结粘附的方法包括在衬底上形成第一金属结构。第一金属结构包括具有{111}晶体学取向的晶粒,并且第一金属结构具有暴露的接触表面。在形成第一金属结构之后,在第一金属结构的暴露的接触表面中引起不平坦的表面拓扑的形成。在引起在暴露的接触表面中形成凹凸不平的表面拓扑之后,将第二金属结构结合到第一金属结构的暴露的接触表面。

著录项

  • 公开/公告号US2015037603A1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-02-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;

    申请/专利号US201313954444

  • 发明设计人 MARTIN OTOOLE;ERNESTO GENE DE LA GARZA;

    申请日2013-07-30

  • 分类号B23K1/20;H05K3/34;H01L23/00;H05K13/04;B32B15/04;B32B3/10;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:20:27

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